Alignment Stages
YRA-071
Price
ASK
-
Drawing For Download
Connect Fig File
Specification (Mechanical)
Model Number
YRA-071
Mirror Model Number
-
Table Size
70mm×70mm
Guide Mechanism
XY：Cross Roller Guide θ：cross roller bearings
Motion Range
XY：±5mm θ：±5°
Lead Mechanism
Ball Screw, Lead 1.0mm
Resolution Full/Half Step
XY：1μm/0.5μm θ: 0.001273°/0.000637°
Maximum Speed
XY：10mm/sec : Half 20kpps θ：12.7°/sec : Half 20kpps
Repeatability
X：≦±0.5μm（AVE. ±0.094μm） Y：≦±0.5μm（AVE. ±0.102μm）
Lost Motion
X：≦ 2μm（AVE. 0.171μm） Y：≦ 2μm（AVE. 0.193μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0014°）
Straightness (Horizontal)
X：≦ 1μm/10mm（AVE. 0.361μm/10mm） Y：≦ 1μm/10mm（AVE. 0.35μm/10mm）
Straightness (Vertical)
X：≦ 1μm/10mm（AVE. 0.212μm/10mm） Y：≦ 1μm/10mm（AVE. 0.179μm/10mm）
Angular Repeatability
θ：≦ 0.001°（AVE. 0.0001°）
Backlash
X：≦ 1μm（AVE. 0.118μm） Y：≦ 1μm（AVE. 0.133μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0011°）
Moment Load Stiffness
X：0.3arcsec／N cm（AVE. 0118 arcsec/N cm） Y：0.3arcsec／N cm（AVE. 0.108 arcsec/N cm）
Load Capacity
68.6N (7kgf)
Surface Runout
θ：≦5μm/±5°（AVE. 1.621μm/±5°）
Eccentricity
θ：≦3μm/±5°（AVE. 0.696μm/±5°）
Material
Aluminum Alloy
Finishing
Clear-Matt Anodizing
Weight
2.25kg
Specification (Electrical)
Sensor Model
XY:F-115(HOME, LIMIT), θ:F-115R(HOME, LIMIT)
5 Phase Stepper Motor
Oriental Motor:PK523HPMB
Connector
Hirose: RP13A-12JG-20PC
Overhaul Price
ASK
Lubricant Change Option
Clean Room Lubricant Change Price ("-C" at the end of model number)
ASK
Vacuum Lubricant Change Price ("-V" at the end of model number)
ASK
Motor Change Option
Same Size Motor Change Price
ASK
Different Size Motor Change Price
ASK
Control Electronics
Motor Controller
See the corresponded motor controller
Motor Driver
See the corresponded motor driver
Motor Cable
See the corresponded motor cable
Remarks and Features
Body thickness: 60mm