Alignment Stages
YRA-070
Price
ASK
-
Drawing For Download
Connect Fig File
Specification (Mechanical)
Model Number
YRA-070
Mirror Model Number
-
Table Size
70mm×70mm
Guide Mechanism
XY：Cross Roller Guide θ：cross roller bearings
Motion Range
XY：±3mm θ：±3°
Lead Mechanism
Ball Screw, Lead 1.0mm
Resolution Full/Half Step
XY：2μm/1μm θ: 0.002546°/0.001273°
Maximum Speed
XY：10mm/sec : Half 10kpps θ：12.7°/sec : Half 10kpps
Repeatability
X：≦±0.5μm（AVE. ±0.088μm） Y：≦±0.5μm（AVE. ±0.075μm）
Lost Motion
X：≦ 2μm（AVE. 0.356μm） Y：≦ 2μm（AVE. 0.354μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0013°）
Straightness (Horizontal)
X：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.237μm/6mm） Y：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.253μm/6mm）
Straightness (Vertical)
X：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.154μm/6mm） Y：≦ 1μm/6mm（AVE. 0.187μm/6mm）
Angular Repeatability
θ：≦ 0.001°（AVE. 0.0002°）
Backlash
X：≦ 1μm（AVE. 0.35μm） Y：≦ 1μm（AVE. 0.288μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0013°）
Moment Load Stiffness
X：0.6arcsec／N cm（AVE. 0474 arcsec/N cm） Y：0.6arcsec／N cm（AVE. 0.434 arcsec/N cm）
Load Capacity
49N (5kgf)
Surface Runout
θ：≦5μm/±3°（AVE. 2.708μm/±3°）
Eccentricity
θ：≦3μm/±3°（AVE. 0.517μm/±3°）
Material
Aluminum Alloy
Finishing
Clear-Matt Anodizing
Weight
1.45kg
Specification (Electrical)
5 Phase Stepper Motor
Oriental Motor:PK513PB
Connector
Hirose: RP13A-12JG-20PC
Overhaul Price
ASK
Lubricant Change Option
Clean Room Lubricant Change Price ("-C" at the end of model number)
ASK
Vacuum Lubricant Change Price ("-V" at the end of model number)
ASK
Motor Change Option
Same Size Motor Change Price
ASK
Different Size Motor Change Price
-
Control Electronics
Motor Controller
See the corresponded motor controller
Motor Driver
See the corresponded motor driver
Motor Cable
See the corresponded motor cable
Remarks and Features
Body thickness: 45mm